Phương pháp chuẩn của chế tạo cơ học thường không thành công
với các linh kiện có kích thước trong miền micromet trung bình hoặc
nhỏ hơn. Vì thế, kỹ thuật mới với độ chính xác và độ phân giải cực kỳ
cao đã được phát triển cho công nghệ micro. Trái ngược với kích thước
đặc trưng trong miền 0,3-1 mm cho cơ học chính xác, các phương pháp
chuẩn của công nghệ hệ micro tạo ra các kích thước dưới 0,25-1 μm [1-
5]. Độ chính xác đã tăng từ 1-10 μm xuống dải nhỏ hơn micromet và mở
rộng xuống dưới 20 nm cho các mạch điện tử micro tiên tiến.
Ngoài các kích thước của các cấu trúc đã tạo ra, các phương pháp
chế tạo cũng thay đổi. Nói chung, sự tăng trong hiệu quả của giới hạn
không gian có thể được quan sát thấy. Các hệ sinh học có khả năng tạo
ra các cấu trúc phức từ bên trong, chẳng hạn từ bên trong thể tích. Mặt
khác, phương pháp chế tạo kỹ thuật thường bắt nguồn từ bên ngoài và
tác dụng trên bề mặt. Sự loại trừ duy nhất là hình dạng của các phần tử
nhỏ của vật liệu, để dạng hình học của những hạt nhỏ này quyết định
tính chất của vật liệu, nhưng không phải là dạng hình học bên ngoài.
Nguyên lý chế tạo này bắt đầu từ bên ngoài mở rộng từ cơ học chuẩn
chuyển thành công nghệ micro.