Chương 1. PHẠM VI CỦA CÔNG NGHỆ MICRO VÀ NANO
Công nghệ micromet đã làm thay đổi có tính chất cách mạng cuộc
sống của chúng ta. Ảnh hưởng nổi bật nhất của công nghệ micromet
được nhìn nhận là trong công nghệ chế tạo máy tính, lĩnh vực cần thiết
trong công nghiệp ngày nay; trong các thiết bị thông tin làm thay đổi
cả với phong cách sống của chúng ta. Bên cạnh lĩnh vực điện tử
micromet, công nghệ micromet đã ảnh hưởng đến rất nhiều lĩnh vực
khác. Kích thước của các cấu trúc đặc trưng có thể đạt được là ở miền
nhỏ hơn micromet, đây là giới hạn của độ phân giải quang học và vừa đủ
quan sát được với một kính hiển vi quang học. Nó nhỏ hơn cỡ khoảng
1.000 lần so với các cấu trúc có thể quan sát được bằng mắt thường,
nhưng vẫn lớn hơn gấp 1.000 lần so với kích thước của một nguyên tử.
Ngày nay, sự phát triển của công nghệ đang hướng đến miền kích thước
nhỏ hơn cả những kích thước dưới micromet đã đạt được trong công
nghệ micro. Dựa trên kích thước của cấu trúc trong miền nanomet, các
phương pháp và kỹ thuật sử dụng để chế tạo chúng được định nghĩa là
công nghệ nano.