Công nghệ chế tạo cấu trúc micro và nano
Phạm Văn Hội - Chủ biên, Hoàng Thị Hồng Cẩm
Khoa học và công nghệ nano đang được nghiên cứu và phát triển rất mạnh trên thế giới và tại Việt Nam. Các kết quả nghiên cứu về vật liệu và cấu trúc vật liệu có kích thước nanomet ngày càng đa dạng và bước đầu đã có nhiều ứng dụng có hiệu quả trong thực tế. Để phát triển công nghệ chế tạo cấu trúc nanomet nhằm ứng dụng trong các linh kiện điện tử, quang điện tử và quang - điện - hóa, các công nghệ chế tạo cấu trúc micromet đã hoàn thiện đóng vai trò rất quan trọng. Trong cuốn sách “Công nghệ chế tạo cấu trúc micro và nano”, các tác giả đã biên soạn và giới thiệu một số công nghệ nền có tính chất cơ bản đã được sử dụng rất hiệu quả trong chế tạo cấu trúc và linh kiện kích thước micromet và đưa ra một số giải pháp ứng dụng các kỹ thuật này cho cấu trúc nanomet.